자유로운 사고로 합리적 판단과 사회적 책임을 다하는 기업
ITEM | Description | Remarks |
---|---|---|
설비 사이즈 | 3,300mm x 4,950mm x 3,000mm (WxDxH) | FFU 포함 |
무게 | 약 9.5 tons | |
글라스 사이즈 | 최소(15x25mm) ~ 최대(200x200mm) | |
Tray 사이즈 | 280x410mm | |
컨베이어 높이 | 1,200mm | Tray 700mm |
글라스 이동방식 | TOHS 자재투입 | Tray 51단 |
레이즈 Unit | UV, Green, IR | 1064, 532, 255mm(상부)/1064, 532mm(하부) |
Stage Unit | 회전가능 Stage(4각) / Probe검사 (1각) / 언라인 Stage | 흡착 Plate : 다공석정반 or AL |
Gantry Unit | 속도 : 600mm/s (최고) / 가속도=0.1G (최고) | |
Slit Unit | Motorized X,Y-Axis,θ, 동작 | |
Galvano 스캔기 | 상부 Laser Optic | |
Tact Time | 8초 | 물류 Picker |
언라인 | FOV : 32mm x 28mm / DOF : ±3.0mm | |
Isolation Unit | 수동방식 | Auto leveled Air Isolator |